天域半導體是國內半導體行業里，排名前三的碳化硅外延片制造商，其在生產過程中外延檢修、清洗、供應間廢氣，廢氣成分主要為非甲烷總烴、多種酸霧、氨氣等，采用預處理+兩級活性炭深度吸附和酸堿塔吸收治理工藝。
天域半導體碳化硅基地廢氣治理
天域半導體是國內半導體行業里，排名前三的碳化硅外延片制造商，其在生產過程中外延檢修、清洗、供應間廢氣，廢氣成分主要為非甲烷總烴、多種酸霧、氨氣等，采用預處理+兩級活性炭深度吸附和酸堿塔吸收治理工藝。
